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測試硅錠、棒、回爐料體電阻率
電阻率測試儀基于渦流（Eddy Current）測試，能夠對硅料、硅棒、硅錠及硅片進行*接觸、*損傷的體電阻率測試。
主要特點
采用渦流法測試硅錠、棒、回爐料體電阻率
*接觸、*損傷快速測試
測試前*需表面處理
**對于多晶，能夠**避免晶界對測試的影響
測試范圍：0.01-100 ohm.cm (分段測試）
可選加*接觸PN型號測試功能

用戶可定義分類范圍


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